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スマート膜厚計 SM-100 series
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高精度で持ち運び可能な膜厚計
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- 製品情報
- 仕様
- 測定対象
- オプション
製品情報
特 長
- 「持ち運び可能なハンディタイプ」1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単
- 「高精度測定＆簡単測定」最薄0.1 μｍまで検量線不要で測定可能
- 「多層膜も対応」3層までの多層膜を測定可能
- 「非破壊・非接触測定」サンプルを傷つけることもなく測定可能
- 「様々なサンプルを測定」基材（ガラス・プラスチック）を選ばず測定可能
仕様
仕 様
| 項目 | Pro | Standard |
| 型式 | SM-100P | SM-100S |
| 測定方式 | 反射分光法（光干渉法） | |
| 測定膜厚範囲*1 | 0.1～100μm（単層） １～100μm（多層） |
1～50μｍ（単層） |
| 多層対応 | 最大3層 | 1層 |
| 測定繰り返し性 | 2.1σ 0.01μｍ（シリコン酸化膜１μｍ） | |
| 測定スポット径 | Φ1ｍｍ以下 | |
| 測定時間 | 1秒以下 | |
| データ出力形式 | USBメモリにテキスト形式でエクスポート | |
| 本体サイズ | 約138（W）×198（D）×61（H）mm ※突起部を含む |
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| 重量 | 約1.1kg | |
| 駆動時間 | 4時間 以上(測定中） | |
| 電源電圧/電力 | AC100-240V/35VA（ACアダプタ入力） | |
| 保護等級 | IP30/IK06 | |
＊１ サンプル屈折率が1.6の場合
測定対象
測定対象
- ハードコート（自動車）
- 防曇コート（自動車）
- ハードコート（光学用）
- 防水防湿コート（半導体）
- 反射防止膜（光学用）
- 離型剤コート（半導体）
- 接着層（光学用）
- 光学用フィルム
- 酸化膜（半導体）
- 産業資材用フィルム
オプション
ペン型プローブ
狭い箇所や形状があるサンプルでも測定可能
非接触ステージ
ウェットな膜や半導体ウェーハのように接触したくないサンプルを、プローブの位置を自由に設定して非接触で測定が可能
- 製品情報
- 仕様
- 測定対象
- オプション
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