フィルム評価機器

MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。
さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。

当社のMCPD series インラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での膜厚、濃度、色などの検査が可能です。
測定可能膜厚範囲は　65nm～92μmと薄膜から厚膜まで対応しております。（屈折率1.5の場合）
測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして最適なシステムをご提案いたします。

OPTM(オプティム)は、顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

高精度で持ち運び可能な膜厚計

「測りたい“その場”ですぐに測れない」
「人によってバラつく測定結果」
「測定精度が悪い」
膜厚を測定するときに、このような経験はありませんか？スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。
 

• 現場に持っていけるハンディタイプ
• 簡単だから誰でも使える
• ハンディタイプでも高精度な測定ができる
• 形状のあるサンプルも非破壊で測れる

インラインでのフィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。
独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.0０1秒毎の測定間隔で500mm幅（1台使用時）のフィルムの膜厚測定が可能です。

フィルムなどの研究開発や品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な装置です。
全面を高速かつ高精度に測定可能です。

OLED用偏光板、積層位相差フィルム、IPS液晶位相差フィルム付偏光板など、あらゆるフィルムに対応したリタデーション測定装置です。
超高Re.60000nmに対応の高速・高精度測定を実現。
フィルムの積層状態を“剥がさず、非破壊”で測定可能です。
さらに、操作面でもかんたんソフトウェアや、サンプルの置き直しによるズレに対応した補正機能を搭載し、手軽に高精度な測定ができます。

光軸の高精度管理！ 3σ≦0.02°
低リタデーション測定に

ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行います。

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現！