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光波動場三次元顕微鏡　MINUK　　　　　　　　　　 NEW

MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。
さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。

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製品情報

特　長

動　画

今までに無い独自の観察方法

対象物にレーザーを当てることで、厚みと屈折率の変化によって波面が変化します。その変化を波面センサでとらえ、独自のソフトウェア上で数値解析し、像を再生しています。

瞬時に深さ方向1400μmのフォーカス情報を一斉に取得可能　　　　

700×700μm、深さ方向1400μmの情報を瞬時に測定します。約2μmの分解能のスライス像の情報を取り込み、約700枚のスライス像を取得します。その情報をデジタルリフォーカシングすることにより三次元構造の追加検証が可能です。

データ取得後、後から任意の深さ・位置にソフトウェア上で再フォーカスすることが可能
（デジタルリフォーカシング）

広視野かつ無歪/無収差イメージングを実現

700×700μmの広視野で0.5μm未満の線幅を捉えることができる高分解能を実現し、また光学系にはレンズを使用していないため、歪みや収差がないイメージングを実現しています。

ワンショットイメージングから高品質イメージングが可能　　　　　　　　　　

観察内容に応じて、ワンショットイメージングから高品質イメージングまで観察が可能です。ワンショットイメージングでは高速リアルタイム測定が可能で、経時変化を動画で観察することもできます。また、高品質イメージングでは高品質な画像取得が可能です。

仕　様　　　　　　　　　

分解能 x,y	691nm（ワンショット）、488nm（合成）
視野 x,y	700×700μm
分解能 z	10nm（位相差）
視野 z	±700μm
サンプルサイズ	100×80×t20mm（汎用サンプルホルダ取付時）
サンプルステージ	微動XYステージ（自動） X:±10mm Y：±10mm 粗動ステージ X：129mm Y：85mm
レーザー	波長 638nm 出力 0.39mW 以下 Class1 (測定試料への照射強度)
サイズ（幅×奥行き×高さ）mm	本体：505（W）×630（D）×439（H） ※PC、付属品は含まず
質量	41kg
消費電力	本体：290VA ※PC、付属品は含まず