機能材料評価機器

MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。
さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。

OPTM(オプティム)は、顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

高精度で持ち運び可能な膜厚計

「測りたい“その場”ですぐに測れない」
「人によってバラつく測定結果」
「測定精度が悪い」
膜厚を測定するときに、このような経験はありませんか？スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。
 

• 現場に持っていけるハンディタイプ
• 簡単だから誰でも使える
• ハンディタイプでも高精度な測定ができる
• 形状のあるサンプルも非破壊で測れる

インラインでのフィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。
独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.0０1秒毎の測定間隔で500mm幅（1台使用時）のフィルムの膜厚測定が可能です。

フィルムなどの研究開発や品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な装置です。
全面を高速かつ高精度に測定可能です。

OLED用偏光板、積層位相差フィルム、IPS液晶位相差フィルム付偏光板など、あらゆるフィルムに対応したリタデーション測定装置です。
超高Re.60000nmに対応の高速・高精度測定を実現。
フィルムの積層状態を“剥がさず、非破壊”で測定可能です。
さらに、操作面でもかんたんソフトウェアや、サンプルの置き直しによるズレに対応した補正機能を搭載し、手軽に高精度な測定ができます。

光軸の高精度管理！ 3σ≦0.02°
低リタデーション測定に

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

瞬時に絶対量子効率（絶対量子収率）の測定ができます。粉体、溶液、固体（フィルム）、薄膜試料に対応しています。低迷光マルチチャンネル分光検出器により、紫外域での迷光を大きく低減しました。また積分半球ユニットの採用により、明るい光学系を実現すると共に、その利点を生かした再励起蛍光補正により、精度の高い測定を行うことができます。さらに量子効率の温度依存性測定や紫外～近赤外の広い波長範囲にも対応が可能です。

一重項酸素（活性酸素）を検出可能

NIMSと共同開発した単粒子診断法^*に基づいた測定が可能です。

* 国立研究開発法人 物質・材料研究機構
　広崎尚登フェロー、武田隆史研究員との共同研究

量子ドット材料は粒子径により発光波長が変わるという特性があるといわれています。
本システムでは粒子径および分散安定性の評価とともに蛍光特性の評価が可能です。

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。

OPTM(オプティム)は、顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

インラインでのフィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。
独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.0０1秒毎の測定間隔で500mm幅（1台使用時）のフィルムの膜厚測定が可能です。

フィルムなどの研究開発や品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な装置です。
全面を高速かつ高精度に測定可能です。

高精度で持ち運び可能な膜厚計

「測りたい“その場”ですぐに測れない」
「人によってバラつく測定結果」
「測定精度が悪い」
膜厚を測定するときに、このような経験はありませんか？スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。
 

• 現場に持っていけるハンディタイプ
• 簡単だから誰でも使える
• ハンディタイプでも高精度な測定ができる
• 形状のあるサンプルも非破壊で測れる