カラーフィルタ分光特性測定装置 LCF series
カラーフィルタの光学特性検査やガラス基板上膜の膜厚検査など FPD生産工程中のあらゆる検査に最適です。 |
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- 製品情報
- 仕様
- 測定例
製品情報
特 長
- 透過スペクトル測定、色測定をはじめ、濃度測定、膜厚測定、反射スペクトル測定などにより、カラーフィルタ製造工程中のあらゆる検査に対応可能な装置
- カラーフィルタの光学特性やガラス基板上膜の薄膜解析など、さまざまな評価に利用可能
- オートフォーカス機能や自動絵素位置合わせ機能により、高精度な測定が可能であり、レシピ登録による完全自動検査にも対応し可能
測定項目
カラーフィルタ評価 | 色測定(透過スペクトル測定) 色度(XYZ,xy,Lab,L*a*b*,u'v',u*v*) 色差,ホワイトバランス |
反射率測定 * | |
濃度(OD)測定 * | |
画素幅測定 * | |
AF(オートフォーカス),自動絵素合わせ * | |
膜厚評価 | 膜厚測定 |
膜物性解析(n:屈折率,k:消衰係数) |
* オプション
測定対象
- R, G, B, ITO, PI, PR, OC, BM
仕様
仕 様
型式 | LCF series |
サンプルサイズ | 50mm×50mm ~ * |
検出器 |
分光光度計 ( MCPD検出器 ),PMT (オプション) |
画像処理 | CCDカメラおよびモニター オートフォーカス・自動絵素合わせ機構 |
ステージおよび測定部架台 | X-Y-Zステージ 自動および手動(電動方式) |
* 大型ガラス基板にも対応可能(3000mm×3000mm以上)
測定例
カラーフィルタのR、G、B測定
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