インライン分光計測システム -品質を向上する為に-

インライン分光計測には、システム(単体、トラバース、切替器)、計測方法(透過、反射)、計測項目(透過率、反射率、膜厚、リタデーション、色等)の組合せによりさまざまな計測システムが考えられる。ここでは例としていくつかの計測システムを紹介します。

(1) 単体タイプ：1点反射型

システムの構成は検出器、光源、PC、無停電電源等から成り、これらの装置は収納ラックに収められます。計測項目としては、指定ポイント1点の反射率(スペクトル、デジタル値、トレンド)、膜厚(デジタル値、トレンド)等が挙げられます。

(2) 単体タイプ：3点リタデーション計測型(図11)

（図11）
 

３点リタデーション計測型は、検出器、シャッター付き光源、PC、偏光光学系等から成り、PC以外は収納ラックに収められます。計測ポイントは3点で、3台の光源をシャッターで制御することでポイント別に計測を行います。また、偏光プリズムは脱着可能であるため、通常の透過率計測も可能です。計測項目としては、透過率(スペクトル、最大および最小値とその波長のデジタル値・トレンド)、リタデーションのデジタル値等が挙げられます。

また、今回紹介したシステムの他にフォトニック結晶偏光子アレイCCDモジュールを用いたインライン用リタデーション計測装置RE-100があります（図12）。この装置では、微小リタデーションサンプルのリタデーションおよび主軸方位を同時にかつ高速で計測可能です。計測対象としては、位相差フィルム(リタデーション、主軸方位角度)、偏光板(透過軸角度)等が挙げられます。

（図12）
 

(3) トラバースタイプ：透過型

トラバースタイプシステムは、検出器、光源、PC、トラバースシステム等から成り、トラバースシステム以外の装置は、収納ラックに収められます。計測ポイントは任意に設定可能で、計測項目としては透過率(スペクトル、デジタル値、トレンド)、透過色(デジタル値、トレンド)等が挙げられます。

(4) 切替器タイプ：3点反射型(図13)

（図13）
 

切替器タイプシステムは、検出器、切替器、光源、PC等から成り、装置は収納ラックに収められます。ここでは3点計測の例を示しています。光源から直接切替器に入っているファイバーは、光源の光量変化を確認するためのものです。計測項目としては反射率(スペクトル、デジタル値、トレンド)、膜厚(デジタル値、トレンド)、反射色(デジタル値、トレンド)等が挙げられます。
ここまで紹介してきたシステムによる計測サンプルの例としては、AR(反射防止)フィルム、LR(低反射)フィルム、偏光フィルム、位相差フィルム、包装フィルム、ガラス基板上塗布膜等が挙げられます。

(5) 計測ソフト

計測ソフトの例として、切替器タイプによるARフィルムの3点膜厚計測画面を紹介する(図14)。計測画面は、反射率スペクトル、膜厚・指定波長の反射率デジタル値及びトレンドグラフ等で構成される。各画面の配置や大きさは自由に変更できます。
計測ソフトは提供先ごとに作成するため、システムと共に要望に応じたソフトの提供が可能であす。

（図14）