Close洗浄液のイオン分析（Agilent 7100）
洗浄工程では洗浄液自体に異物が無いかの分析が必要とされます。洗浄液は高濃度の薬液（フッ酸、過酸化水素など）を使用しているため、HPLCを用いた測定ではカラムがすぐに消耗します。キャピラリー電気泳動法はカラムを必要とせず、簡単に洗浄液を分析できます。
-
ウェーハ作製
-
洗浄 -
ウェーハ表面酸化
関連製品
|
|
キャピラリ電気泳動システム Agilent 7100 |
ホーム
