レジスト層の厚み（OPTM series）

インゴット製造

ウェーハ作製

• CMPスラリーの分散性
• ウェーハの厚み（SF-3）

洗浄

• ウェーハ表面の電位
• 洗浄液のイオン分析（Agilent7100）

結晶成長

• 結晶成長層の厚み（OPTM series ＋ SF-3）

フォトリソグラフィ

• レジスト層の厚み（OPTM series）
• プラズマインジケータTMの色差（MCPD-9800）

電極形成

• 絶縁膜の厚み（OPTM series）

ダイシング

• ウェーハの厚み（SF-3）
• CMPスラリー中のイオン分析（Agilent7100）

ボンディング

• リードフレームの微小反射率（MCPD-9800）

パッケージング

• 蛍光体の量子効率（QE-2100）
• 蛍光体シートの均一度

検査・分類・梱包

• LEDの色分類（LE series）
• LEDの全光束（HM/FM series）
• LEDの配光（GP series）

アッセンブリー