Close
SEMICON Japan 2022
無事終了いたしました。 多数のご参加を頂き、誠にありがとうございました。
2022年12月14日（水）から16日（金）まで、東京ビッグサイトで「SEMICON JAPAN 2022」が開催されます。
| ● 名 称 | |
|---|---|
| ● 会 期 | 2022年12月14日（水）～16日（金） 10:00～17:00 |
| ● 会 場 | 東京国際展示場（東京ビッグサイト） |
| ● 主 催 | |
| ● 入 場 料 | 無料 |
出展ブース 3035
出展製品
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーション
ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
|
● 300mm EFFMユニット予備portへのインテグレーションに対応 |
|---|
300mmウェーハにも対応
顕微分光膜厚計 OPTM series
|
● 1ポイント1秒の高速測定でストレスフリーな測定を実現 |
|---|
あらゆるウェーハのプロセスに最適
分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
|
● 高速測定（1ms以下）によりリアルタイムモニターに最適 |
|---|
ウェーハの表面電位、研磨粒子の評価
ゼータ電位・粒子径・分子量測定システム ELSZneo
|
● ウェーハ表面および研磨粒子のゼータ電位測定によりウェーハへの粒子吸着特性の評価が可能 |
|---|
ホーム
