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SEMICON Japan 2019
無事終了いたしました。 多数のご参加を頂き、誠にありがとうございました。
2019年12月11日（水）から13日（金）まで、東京ビッグサイトで「SEMICON JAPAN 2019」が開催されます。
大塚電子では、『その方法古くないですか？新しいインライン検査のスタイルがここに！』をテーマに、装置を展示・紹介いたします。
ぜひ弊社ブースにて実機をお近くでご覧ください。各種資料を取り揃えて、皆様のご来場をお待ちしております。
また、出展社セミナーもおこないます。お気軽にご参加ください。
| ● 名 称 | |
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| ● 会 期 | 2019年12月11日（水）～13日（金） 10:00～17:00 |
| ● 会 場 | 東京国際展示場（東京ビッグサイト） |
| ● 主 催 | |
| ● 入 場 料 | 無料 |
出展ブース 3866(西2ホール)
出店製品
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーション
ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
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● 300mm EFFMユニット予備portへのインテグレーションに対応 |
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300mmウェーハにも対応
顕微分光膜厚計 OPTM series
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● 1ポイント1秒の高速測定でストレスフリーな測定を実現 |
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あらゆるウェーハのプロセスに最適
分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
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● 高速測定（1ms以下）によりリアルタイムモニターに最適 |
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ウェーハの表面電位、研磨粒子の評価
ゼータ電位・粒径・分子量測定システム ELSZ-2000
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● ウェーハ表面および研磨粒子のゼータ電位測定によりウェーハへの粒子吸着特性の評価が可能 |
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出展社セミナー
出展社セミナーでは以下の内容でセミナーをおこないます。 ぜひご聴講ください。
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