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SEMICON Japan 2017
無事終了いたしました。 多数のご参加を頂き、誠にありがとうございました。
2017年12月13日（水）から15日（金）まで、東京ビッグサイトで「SEMICON JAPAN 2017」が開催されます。
大塚電子では、「お客様のご要望に応える極薄膜～厚膜まで対応の膜厚計（卓上仕様&組込み仕様）」を展示・紹介いたします。
ぜひ弊社ブースにて実機をお近くでご覧ください。各種資料を取り揃えて、皆様のご来場をお待ちしております。
また、セミナー（新技術説明会）もおこないます。お気軽にご参加ください。
（詳細は下記をご覧ください）
| ● 名 称 | |
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| ● 会 期 | 2017年12月13日（水）～15日（金） 10:00～17:00 |
| ● 会 場 | 東京国際展示場（東京ビッグサイト） |
| ● 主 催 | |
| ● 入 場 料 | 無料（事前登録制） |
出展ブース 4429(東4ホール)
出展製品
エリプソメータに匹敵
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・1ポイント1秒の高速測定でストレスフリーな測定を実現 |
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あらゆるウェーハのプロセスに最適
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・配線埋め込みパターン付ウェーハ面内の厚み測定に最適 |
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微小部位の膜厚検査でも手軽に組込み
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顕微分光膜厚計ヘッド OPTM series
・目的や用途に合わせて膜厚センサーとして組み込んでいただける |
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この1台で薄膜～厚膜の広範囲をカバー
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広ダイナミクス顕微分光膜厚計
・微鏡下の微小スポットサイズで、数nmから数mmの広い膜厚範囲カバー |
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開催セミナー
出展社セミナーでは以下の内容でセミナーをおこないます。 ぜひご聴講ください。
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