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OPTM series 組込みヘッドタイプ
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顕微分光膜厚計OPTM seriesの高精度、微小スポットを生かし、ウェーハのパターン作成後の微小エリア測定など、インラインで膜厚情報を提供します。 |
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- 製品情報
- 仕様
製品情報
特 長
- 膜厚測定範囲1nm～92μm（SiO2換算）
- 膜厚値の高い繰り返し精度
- 1ポイント1秒以内の高速測定
- 微小スポット（最小Φ3μm）でパターンが狙える
- パターンウェーハの膜厚マッピングに最適
- パターンアライメント用画像取得が可能
装置組込みイメージ
測定データイメージ
測定スポット周辺画像
適応プロセス例
CMPプロセス
エッチングプロセス
成膜プロセス
など
仕様
- 製品情報
- 仕様
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顕微分光膜厚計 OPTM series |
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