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SEMICON JAPAN2016
無事終了いたしました。 多数のご参加を頂き、誠にありがとうございました。
12月14日（水）から12月16日（金）まで、東京ビッグサイトで「SEMICON JAPAN2016」が開催されます。本展示会では、「インテグレーションからスタンドアローン装置まで幅広いご要望にお応えするラインナップ」をテーマに装置を展示・紹介します。
また、株式会社サクラクレパス様との共同展示コーナーも設置しています。
【 展示装置 】
● 簡単・一秒測定 『顕微分光膜厚』 OPTM series
● 超高速・厚膜 『分光干渉式ウェーハ厚み計』 SF-3
● 高速・高精細 『高速ウェーハ厚みマッピングシステム』 SF-3Rθ
● パターン対応 『ウェーハ厚みマッピングシステム』 SF-3AA
● 【共同展示】 『プラズマインジケータ TM PLAZMARK ®』
※プラズマインジケータ、ＰＬＡＺＭＡＲＫは(株)サクラクレパスの商標または登録商標です。
株式会社サクラクレパスが開発した製品 プラズマインジケータTMを弊社ブースでも展示します。
弊社の展示パネル「プラズマインジケータTM評価システム」と併せてご覧ください。
【 展示パネル 】
● プラズマインジケータTM評価システム
● 300mmウェーハ用EFEMユニットの予備ポートへのインテグレーション（ウェーハ厚みマッピング装置）
ぜひ弊社ブースにて実機やパネルをお近くでご覧ください。
また、技術セミナーもおこないます。お気軽にご参加ください。
【 技術セミナー 】
◎ 12月15日（木）16：00～16：50
『IoTを実現する電子デバイスの非接触測定技術、ウェーハ厚み、ボイド、膜厚、反りに関連する評価方法をご紹介』
各種資料を取り揃えて、皆様のご来場をお待ちしております。
■ 弊社ブース：東2ホール【2237】
■ 技術セミナー会場：東4ホール 出展社セミナーホール
※入場料は無料となっています。詳しくは、「SEMICON JAPAN 2016」公式ホームページをご覧ください。
| ● 名 称 | |
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| ● 会 期 | 2016年12月14日（水）～16日（金） 10:00～17:00 |
| ● 会 場 | |
| ● 入 場 料 | 無料（事前登録制） |
| ● 主 催 |
出展ブース 東2ホール【 2237 】
出展製品
【 簡単測定・1秒測定 】
● 顕微分光膜厚計 OPTM series
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● 顕微分光で高精度な絶対反射率測定 （多層膜厚、光学定数）
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【 高速・高精細 】
● 高速ウェーハ厚みマッピングシステム SF-3RΘ
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● 高速にウェーハ面内の厚み情報を提供します。
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【 パターン対応 】
● ウェーハ厚みマッピングシステム SF-3AA
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● 微細パターンをアライメントし、ウェーハ厚み情報を提供します。 ＜関連パネル展示＞
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【 共同展示 】
● プラズマインジケータ™PLAZMARK®
株式会社サクラクレパスが開発した製品 プラズマインジケータTMを弊社ブースでも展示します。 ＜関連パネル展示＞ ※プラズマインジケータ、ＰＬＡＺＭＡＲＫは(株)サクラクレパスの商標または登録商標です。 |
技術セミナー
出展社セミナーでは以下の内容でセミナーをおこないます。 ぜひご聴講ください。
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