諦めていた膜厚測定を実現する　顕微分光膜厚計OPTM series

1ポイント1秒測定測定エリア最小3μm 高性能でとにかくつかいやすい　顕微分光膜厚計OPTM series

特長

OPTMシリーズは光干渉法を用いた分光計測なので、膜種を選ばない高精度な測定が可能です。これまでの膜厚計では不得意だった極薄膜・多層膜・カラーフィルタ・透明基板まで計測が可能です。また正確な絶対反射率を求めることができるので、材質のもつ光学定数（n:屈折率、k:消衰係数）の解析も可能になります。　

OPTMシリーズはこれまで経験が必要だった膜厚測定・光学定数解析を、
かんたんに測定ができる機能を搭載しました。

解析ウィザード例　解析フィッティングでピークバレイの質問に答える対話形式
面倒な初期値設定はソフト側で自動的に判断

ピークの数は
どれくらいですか？
ピークバレイは
一致していますか？
波形は
フィットしていますか？

■1ポイント１秒の測定スピード！

フォーカスの定量化（FV値の演算）を用いた
高速AF（オートフォーカス）により、
1ポイント1秒の高速測定を実現しました。
自動XYステージタイプのOPTM-A1シリーズなら、
面内25ポイントを1分以内で測定ができます。

■超高精度“繰り返し精度0.1nm”

色収差のないレンズ・光学系の採用により、
膜厚測定の繰り返し精度0.1nm、
反射率測定の繰り返し精度も0.4％～0.8％を実現しました。
（相対拡張不確かさ 2.1σ/Aveの最大値）

膜厚値・反射率の繰り返し精度データ

精度データ①

膜厚値測定の繰り返し精度（Si基板上SiO2膜）
100nm未満	0.1nm
100nm以上	0.07%

精度データ②

反射率測定の繰り返し精度
230nm〜250nm	0.8%
250nm〜800nm	0.4%
800nm〜1600nm	0.8%

大塚電子の最先端技術の採用により、誰でも簡単に測定ができ、測定者による誤差がほとんどない高再現性を実現しました。

膜厚測定の常識を変える！この一台でほぼすべての膜種を計測簡単・高速・高精度　顕微分光膜厚計OPTM series

業界での活躍例

様々な業界で使える測定能力、その一例をご覧ください。

機能性フィルム業界

PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、
PVAなど
半導体業界

Si、酸化膜、窒化膜、Resist、SiC、
SOIなど
FPD業界

LCD（CF、ITO、LC、PI、PS）、
OLED（有機膜、封止剤）など
LED業界

GaN、Sapphire、InP、InGaAs、
リードフレーム
レンズ、フィルター業界

ARコート、ハードコートなど
DLC業界

ドリル、エンドミル、自動車用部品、光学材料、医療器具、
プラスチック容器など

対象物に合わせて使いやすいオプション機能も搭載！

パターンアライメント機能

パターン付きウェーハサンプルでのオートアライメント測定
- ①二点間の座標から角度補正・
  中心座標を検出
- ②各部位に移動後、座標がずれて
  いたら画像処理で補正
  （登録パターンより検出）
- ③アライメント動作終了
芯出し機能

レンズ形状サンプルでの反射率測定

レンズ形状をソフトウェアに　
登録することで、レンズの芯の位置を自動的に装置で検出し、
芯での絶対反射率測定が可能です。
反り検出機能

ウェーハガラスの反り検出測定

オートフォーカスの高さ情報を
記憶することで、膜厚測定と同時に
反りの情報を検出することが
可能です。

測定スピードが速いため作業効率がアップした

OPTMシリーズは、従来よりも測定スピードが格段に速くなり、
これまで測定結果待ちで作業が止まっていた工程がなくなり
作業効率・生産タクトが大幅にアップしました。
部材ロスがなくなった

これまでは、ワークに直接プロービングをしていたので、キズがついて廃棄することがありました。
OPTMシリーズは非接触式なのでワークをムダにする事はないですし、
静電気の帯電なども気にせず測定だけに集中できるので、作業効率が大幅にアップしました。
品質アップ・不良品の発生が抑えられ
業務改善につながった

これまではワークの素材による精度のバラツキがでて、
一定量の不良品が出ていましたが、OPTMシリーズ導入後は実製品に対して、
成膜直後に膜厚測定ができるようになりました。
また、繰り返し精度も素晴らしく、製品の品質も向上しました。
そして、それに伴い不良品が減り、コスト削減にもつながりました。
測定素材によって段取り替えをする手間がなくなった

OPTMシリーズは、薄膜～多層膜まで１台で対応してくれるので、
これまで測定結果待ちで作業が止まっていた工程がなくなり
作業効率・生産タクトが大幅にアップしました。
使いやすいソフトウェアが充実していて、
対応人員が増え属人化が解消された

OPTMシリーズは、膜種の素材に応じての解析アルゴリズムがプリセットされているので、
だれでも簡単に初期設定ができます。
また、これまでは専任の作業員が光学定数解析を行っていましたが、
付属の楽々解析ウィザードを使えば専門知識がない社員でも対応できるようになりました。
作業工数も削減できていい事づくめです。