【対象】
・大塚電子の膜厚測定機器をご使用中の方
・解析などでお悩みの方
・良否判定などの評価でお悩みの方
・効率的な膜厚管理をお考えの方
FEシリーズの購入をご検討中の方もぜひご参加いただき、この機会にFEシリーズに触れて、その操作性をご体感ください。
皆様の参加申し込みをお待ちしております。
●開催日・ 会 場 |
<東京会場> 2011年6月23日(木) 13:00~17:00 (受付12:30~) 大塚電子(株)東京支店内 <滋賀会場> 2011年6月30日(木) 13:00~17:00 (受付12:30~) 大塚電子(株)滋賀工場 |
●お申込 | お申込は終了させていただきました |
●定 員 | 各会場 定員10名 |
●費 用 | 無料 |
多層膜の膜厚・膜質評価を高速・高精度で実現! |
●反射分光膜厚計 FE-3000 マルチチャンネル検出器による高速性と、顕微光学系による多機能を付加した光干渉式膜厚測定システムです。紫外可視域から近赤外域までの顕微反射スペクトルにより、多層薄膜から厚膜まで幅広いレンジの膜厚測定を高速・高精度で実現します。半導体材料、FPD材料、光記憶材料、新機能性材料など、多様化する各種膜厚、膜質解析にお応えします。
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