●名 称 | 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会 |
●会 期 | 2010年9月14日(火)~17日(金) |
●会 場 | 長崎大学 文教キャンパス |
●入場料 | 詳細は事務局にお問い合わせください。 |
●主 催 | (社)応用物理学会 |
【 膜厚評価 】 小型・低価格!簡単操作で、"非接触"膜厚測定! |
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● 膜厚モニター FE-300 薄膜から厚膜の幅広い膜厚測定に対応可能な光干渉式膜厚計です。 コンパクト・低価格でありながら高精度測定を実現します。 安価でお求めやすい固定ステージ仕様と、マッピング測定が可能な自動ステージ仕様の2種類をラインナップしています。
*2 仕様により測定膜厚範囲および測定波長範囲は異なります |
【 量子効率評価 】 超高感度・高精度な低迷光マルチチャンネル分光光度計を用いた量子効率測定 |
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● 量子効率測光システム QE-1000 蛍光スペクトルを積分半球を使用して測定する装置です。分光器や干渉フィルタを用いることにより任意の励起波長を選択することが可能です。紫外域での迷光を抑えることにより、高い量子効率をもつサンプルの高精度な測定を可能とします。
また、再励起蛍光発光の除去により高い反射率サンプルの高精度な量子効率測定ができます。
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マルチチャンネル検出器による高速性と、顕微光学系による多機能性を付加した光干渉式膜厚測定システム |
●反射分光膜厚計 FE-3000 ■ 広い波長域により多層薄膜から厚膜まで幅広いレンジの膜厚測定に対応
■ 高分解能検出器の採用により、厚膜にも対応。(膜厚測定範囲:0.8~250μm) ■ 顕微反射スペクトル測定により、測定を高速・高精度で実現 ■ 大型ステージ、搬送システムにも対応可能 |
高精度な膜厚解析・光学定数解析が可能な卓上型分光エリプソメータを低価格で実現! |
●卓上型分光エリプソメータ FE-5000S ■ 自動角度可変測定、全角度同時解析など高機能仕様
■ 高機能な分光エリプソメータを低価格・コンパクトサイズにて実現 ■ ナノメータオーダーの半導体、薄膜材料における多層薄膜の膜厚解析が可能 ■ 多層膜フィッティング解析による光学定数測定により、 膜厚管理・膜質管理に有用な情報を提供 |
遠赤外(テラヘルツ)領域の小型分光器 |
●テラヘルツ分光システム TR-1000 ■ 高速・高分解能で時間領域分光測定が可能
■ 固体、液体、液体試料に対応 ■ 測定周波数域 0.04 ~ 7 THz (1THz=1012Hz=0.3mm) に対応 |