●名 称 | 第70回 応用物理学関係連合講演会 付設 理化学・計測機材展 |
●会 期 | 2009年9月8日(火)~11日(金) |
●会 場 | 富山大学 五福キャンパス 第一体育館 |
●入場料 | 詳細は事務局にお問い合わせください。 |
●主 催 | (社)応用物理学会 |
小型・低価格!簡単操作で、"非接触”膜厚測定! |
●膜厚モニター FE-300 ■ 薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応
■ コンパクト・低価格でありながら高精度測定を実現 ■ 条件設定や測定操作が簡単。どなたでも手軽に膜厚測定可能 ■ 安価でお求めやすい固定ステージ仕様と、マッピング測定が可能な自動ステー ジ仕様の2種類をラインナップ ■ 非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の 膜厚測定が可能 |
腐食性ガス中の微量水分分析 |
●ガス中微量水分分析装置 IG-1000V ■ 現場から現場への移動が容易な可搬型FTIRガス分析装置
■ 水分ゼロのブランクデータを測定データより合成することで、 ガス中の正確な水分量の測定が可能 ■ 光学系は、真空度1.3×10-3 Paの真空引きな可能な密閉構造 ■ トレーサビリティのある標準ガスライブラリーによる校正を採用 ■ 温度・圧力のリアルタイム補正により正確な定量解析が可能 |
高精度な膜厚解析・光学定数解析が可能な卓上型分光エリプソメータを低価格で実現! |
●卓上型分光エリプソメータ FE-5000S ■ 自動角度可変測定、全角度同時解析など高機能仕様
■ 高機能な分光エリプソメータを低価格・コンパクトサイズにて実現 ■ ナノメータオーダーの半導体、薄膜材料における多層薄膜の膜厚解析が可能 ■ 多層膜フィッティング解析による光学定数測定により、 膜厚管理・膜質管理に有用な情報を提供 |
進化したMCPD分光器! MCPDシリーズ最上位機種登場! |
●瞬間マルチ測光システム MCPD-9800 ■ 広いダイナミックレンジを有し、全光束測定に最適
■ 低迷光機能搭載により、UV評価に最適。当社従来機種に比べて迷光率を 約1/5に! ■ 最短5msecから65sec*1までの露光時間、微弱光測定、高速測定、インライン 測定など、幅広い測定に最適 ■ スクランブルファイバーの採用により、高再現性を実現 ■ 軽量・コンパクトな縦置きタイプ *1 標準仕様では最長20sec |
遠赤外(テラヘルツ)領域の小型分光器 |
●テラヘルツ分光器 TR-1000 ■ 高速・高分解能で時間領域分光測定が可能
■ 固体、液体、液体試料に対応 ■ 測定周波数域 0.04 ~ 7 THz (1THz=1012Hz=0.3mm) に対応 |