●名 称 | 第69回 応用物理学関係連合講演会 付設 理化学・計測機材展 |
●日 時 | 2008年9月2日(火)~5日(金) |
●会 場 | 中部大学 体育館 |
●入場料 | 詳細は事務局にお問い合わせください。 |
●主 催 | (社)応用物理学会 |
高精度な膜厚解析・光学定数解析が可能な卓上型分光エリプソメータを低価格で実現! |
●卓上型分光エリプソメータ FE-5000S ■ 自動角度可変測定、全角度同時解析など高機能仕様
■ 高機能な分光エリプソメータを低価格・コンパクトサイズにて実現 ■ ナノメータオーダーの半導体、薄膜材料における多層薄膜の膜厚解析が可能 ■ 多層膜フィッティング解析による光学定数測定により、 膜厚管理・膜質管理に有用な情報を提供 |
従来製品に比べて、小型化・高精度化したファイバー付きマルチチャンネル分光光度計 |
●瞬間マルチ測光システム MCPD-3700/7700 ■ 紫外から近赤外の幅広い領域での分光スペクトル測定に対応
■ 従来製品に比べ、高い波長精度と波長分解能を実現 ■ USB、LANの汎用インターフェースを採用 ■ オプティカルファイバーにより、自由な光学系の構築が可能 ■ インライン対応可能。 |
マルチチャンネル検出器による高速性と、顕微光学系による多機能性を付加した光干渉式膜厚測定システム |
●反射分光膜厚計 FE-3000 ■ 広い波長域により多層薄膜から厚膜まで幅広いレンジの膜厚測定に対応
■ 高分解能検出器の採用により、厚膜にも対応。(膜厚測定範囲:0.8~250μm) ■ 顕微反射スペクトル測定により、測定を高速・高精度で実現 ■ 大型ステージ、搬送システムにも対応可能 |
0.1秒以下の速さで低Re.と主軸方位角の同時測定を実現! |
●高速リタデーション測定装置 RE-100 ■ 偏光計測モジュールを使用
■ 低リタデーションサンプルのリタデーションおよび主軸方位角を同時にかつ高速 で測定可能 ■ コンパクトな形状で高速測定が可能 ■ フィルムや光学材料のインライン測定に最適 |
微小リタデーション(0.1nm~)が精度よく測定可能! |
●位相差フィルム・光学材料検査装置 RETS-100 ■ リタデーションの波長分散評価、配向角(光学軸)や貼り合わせ角度の自動
検出など、 光学フィルムの偏光特性の評価に最適 ■ 任意波長での高精度なリタデーション測定が可能 ■ オプションの傾斜・回転ステージにより、三次元屈折率パラメータ解析などの 視野角特性評価が可能 ■ 測定対象に応じて自由な試料ステージの構築が可能 |
遠赤外(テラヘルツ)領域の小型分光器 |
●テラヘルツ分光器 ■ 高速・高分解能で時間領域分光測定が可能
■ 固体、液体、液体試料に対応 ■ 測定周波数域 0.04 ~ 7 THz (1THz=1012Hz=0.3mm) に対応 参考展示
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