従来からの希薄溶液に加え濃厚溶液でのゼータ電位･粒子径測定が可能な装置です。粒子径測定範囲も（0.6nm～7μm）、濃度範囲（0.001%～40%）に対応。装置も従来装置に比べコンパクトになり、取扱いが簡単な電気泳動セルにより操作性が向上しました。

プロセス現場でのガス成分分析が手軽にできる高感度プロセス用FTIRガス連続モニターです。
プロセス装置から排出されるPFCsガスの分解効率、排出量試算、およびプロセス最適化、除害装置の除害効率評価などに最適です。簡単なガスセル交換で幅広い濃度範囲の多種ガス成分分析に対応可能であり、半導体特殊ガスなどトレーサビリティのあるガスライブラリーによる定性・定量解析が高精度にできます。研究分野から品質管理、ライン管理まで対応できる装置です。

マルチチャンネル検出器による高速性と、顕微光学系による多機能を付加した光干渉式膜厚測定システムです。紫外可視域から近赤外域までの顕微反射スペクトルにより、多層薄膜から厚膜まで幅広いレンジの膜厚測定を高速・高精度で実現します。半導体材料、FPD材料、光記憶材料、新機能性材料など、多様化する各種膜厚、膜質解析にお応えします。

積分半球による光源評価のご提案です。積分球（全球）の弱点である「光源点灯治具の自己吸収」による誤差を解消、全光束評価が難しいバックライトなどの面発光光源も簡単に精度良く評価できるシステムを提供します。