●名 称 | 第68回 応用物理学会学術講演会 付設 理化学・計測機材展 |
●日 時 | 2007年9月4日(火)~9月7日(金) |
●会 場 | 北海道工業大学 体育館 |
●入場料 | 詳細は事務局にお問い合わせください。 |
●主 催 | (社)応用物理学会 |
高精度な膜厚解析・光学定数解析が可能な卓上型分光エリプソメータを低価格で実現! |
●卓上型分光エリプソメータ FE-5000S ■ 自動角度可変測定、全角度同時解析など高機能仕様
■ 高機能な分光エリプソメータを低価格・コンパクトサイズにて実現 ■ ナノメータオーダーの半導体、薄膜材料における多層薄膜の膜厚解析が可能 ■ 多層膜フィッティング解析による光学定数測定により、 膜厚管理・膜質管理に有用な情報を提供 |
従来製品に比べて、小型化・高精度化したファイバー付きマルチチャンネル分光光度計 |
●瞬間マルチ測光システム MCPD-3700/7700 ■ 紫外から近赤外の幅広い領域での分光スペクトル測定に対応
■ 従来製品に比べ、高い波長精度と波長分解能を実現 ■ USB、LANの汎用インターフェースを採用 ■ オプティカルファイバーにより、自由な光学系の構築が可能 ■ インライン対応可能。 |
近赤外域を高速測定可能なマルチチャンネル分光光度計 |
●瞬間マルチ近赤外測光システム MCPD-5000/MCPD-N500 ■ 900nm~2500nmの広い波長域に対応
■ 専用のオプティカルファイバーにより、自由な光学系の構築が可能 ■ インライン対応可能 ■ R,G,B、BM、AV、PSなど可視域に吸収のあるサンプルの測定に有用 |
マルチチャンネル検出器による高速性と、顕微光学系による多機能性を付加した光干渉式膜厚測定システム |
●反射分光膜厚計 FE-3000 ■ 広い波長域により多層薄膜から厚膜まで幅広いレンジの膜厚測定に対応
■ 高分解能検出器の採用により、厚膜にも対応。(膜厚測定範囲:0.8~250μm) ■ 顕微反射スペクトル測定により、測定を高速・高精度で実現 ■ 大型ステージ、搬送システムにも対応可能 |